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金属硅

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华虹半导体取得金属硅化物形成方法专利

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华力集成申请镍金属硅化物退火机台监控方法专利，实现产品良率的提高

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黔永硅业申请工业硅加工原料粉碎装置专利，能对金属硅粉碎期间产生的粉尘进行收集

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