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十八大代表王曦:祖国的需要就是最大的舞台

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王曦(右二)在洁净室。资料照片
                          王曦(右二)在洁净室。资料照片

“你必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来,要有大眼界,做大事,那样你才会变得强大,立于不败之地。”——王曦

1998年6月,正在德国洪堡罗森多夫研究中心做访问学者的王曦,提前回国。按原计划,王曦至少可以再做一年“洪堡学者”;以他对离子注入技术的长期研究,长留国外也轻而易举。

说动他的,是时任中科院上海冶金所(即日后的微系统所)所长江绵恒。1997年秋天,江绵恒来到德国告诉王曦:“中科院要干大事情了,要有大发展了,也更需要人才了。”

SOI,即“绝缘体上的硅”。国际上公认,SOI是21世纪的微电子前沿技术之一,在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面都有重要应用。而高端硅基SOI制备中的关键技术,正是王曦钻研多年的“离子注入”。

就在王曦回国后不久,美国IBM公司宣布将SOI材料民用化并用于生产处理器芯片。而我国材料学界尽管从上世纪80年代起就在研究SOI材料,但中国的SOI从未走出过实验室。

“硅薄片的原材料价格仅为20美元,而合格的SOI硅片价格却高达250美元,高技术创造的高附加值,多么诱人!”王曦回忆,加大SOI技术的应用研究力度,并走上产业化道路,成为摆在面前的必然选择。

走出第一步——技术攻关,用了3年。这期间,王曦记不清与同伴们熬了多少个通宵。2001年7月,SOI的产业化有了初步成果。中科院上海微系统所发起成立了上海新傲科技有限公司。做惯了科学家的王曦,当起了老板。

对初出茅庐的新傲公司,甚至对整个中国而言,想要在SOI技术产业化的国际市场上站稳脚跟乃至分一杯羹,需要付出的努力难以想象。2002年,中国第一批商业化生产的SOI圆片问世。拥有核心自主知识产权、16项已授权的国家发明专利,形成我国首部SOI技术企业标准。美国《半导体商业新闻》惊呼,仿佛一夜间,中国“突然冒出了一个高端集成电路硅基片企业”。

如今,新傲公司作为目前国内唯一、国际屈指可数的SOI生产基地,不仅拥有国内唯一的SOI生产线,总资产也由10年前的1300万元,发展到超过10亿元。2006年,SOI项目获得国家科技进步一等奖(排名第一)。2009年,王曦当选为中科院院士。

“我们常说要‘顶天立地’,‘顶天’就是在基础研究方面做得非常杰出,‘立地’就是能够把产品的产业化做得好。”王曦说,“做科学家,尤其是应用学科的科学家,必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来,要有大眼界,做大事,那样你才会变得强大,立于不败之地。”(记者 曹继军 颜维琦)

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